2. 測定原理

 静電容量式膜厚計「アドミッタンスゲージ」の原理は、平行板コンデンサーの測定となり、導電性ゴム電

   極と素地金属間に誘電体の塗膜などがつまっているとき、距離d = 1μmとする。

 d =εr×ε0×S / pF  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ (1)

pF:求める静電容量    

εr:比誘電率 4.525 *1            *1 アドミッタンスゲージ初期設定値

ε0:真空中の誘電率 8.854184         

S:電極面積 [mm2 φ9.4mm = 69.3978 mm2                

           d:距離 1 [μm] 

上記式より、電極径φ2.0mm、φ3.5mm、φ9.4mmの測定範囲と容量対膜厚の関係を1、電圧対膜厚の関

係を図2に示します。

図1

図2


 標準プローブφ9.4mmの誘電率εr2.03.04.5256.08.010と変更したときの容量対膜厚の関係を図

 3に示します、図3より誘電率εを変更すると容量対膜厚特性と電圧対膜厚の関係は平行関係です。

3 φ9.4mm プローブ